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快速退火爐設備
是利用鹵素紅外燈做為熱源，通過極快的升溫速率，將晶圓或者材料快速的加熱到300℃-1200℃，從而消除晶圓或者材料內部的一些缺陷，改善產品性能。
采用先進的微電腦控制系統，采用PID閉環控制溫度，可以達到*的控溫精度和溫度均勻性，并且可配置真空腔體，也可根據用戶工藝需求配置多路氣體。
應用領域：
1.快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN);
2.離子注入/接觸退火;
3.金屬合金;
4.熱氧化處理;
5.化合物合金(砷化鎵、氮化物等);
6.多晶硅退火;
7.太陽能電池片退火;
8.高溫退火;
9.高溫擴散。
快速退火爐設備
退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，其中以自備煤氣發生爐所產煤氣退火爐應用*泛。煤氣退火窯減去了燃燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱系統，將空氣轉換為助燃熱風進行煤氣的助燃。
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