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快速退火爐供應
是利用鹵素紅外燈做為熱源,通過極快的升溫速率,將晶圓或者材料快速的加熱到300℃-1200℃,從而消除晶圓或者材料內部的一些缺陷,改善產品性能。采用先進的微電腦控制系統,采用PID閉環控制溫度,可以達到*的控溫精度和溫度均勻性,并且可配置真空腔體,也可根據用戶工藝需求配置多路氣體。
設備說明:
快速退火爐供應
退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等,其中以自備煤氣發生爐所產煤氣退火爐應用*泛。煤氣退火窯減去了燃燒室,直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。為了降低能耗,煤氣退火窯往往配有換熱系統,將空氣轉換為助燃熱風進行煤氣的助燃。
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